展會新聞/ Industry News

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                                                                      發布日期: 2022/9/21 8:42:57

                                                                      來源:杭氧集團

                                                                      近日,青島杭氧電子氣純氮設備開車一次成功,順利產出產品,純度和產量均達到設計要求。

                                                                      據悉,該設備配套青島杭氧電子氣大宗氣體項目,為青島芯恩集成電路有限公司提供電子氣級別氮氣,純氮設備產品含氧量要求0.1ppm以下,再經過后處理加工,供應業主。本套電子氣項目有“爬坡”的特點,用戶氮氣需求逐漸增加,根據業主要求,純氮設備具有低負荷、大操作范圍的能力,并采用雙塔流程提升提取率,降低能耗,操作負荷范圍在38%~105%,目前設備運行在40%左右。此外,針對電子氣項目保供要求,做了更多可靠性的配置,后備系統在產品管路波動時可自行補氣,如遇到純氮設備跳車,甚至控制系統故障,停水斷電,后備系統仍能平穩供氣,確保下游工藝的安全。

                                                                      隨著純氮設備出氮,青島杭氧電子氣項目二階段設備全面投入使用。

                                                                      首頁關于展會展會新聞行業新聞展會服務下載中心聯系我們
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